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浚和（上海）儀器科技有限公司
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YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/1000X/1000XS RIE·DP模式、多段平行平板電極、大容量
    發(fā)布時間: 2019-03-15 10:21    
YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/1000X/1000XS RIE·DP模式、多段平行平板電極、大容量

等離子清洗機(jī)V系列——13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。

產(chǎn)品用途：

  • 硅晶圓的灰化及蝕刻 

  • 基板表面污垢處理 

  • IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理 

  • 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗 

  • 自然氧化膜·有機(jī)物去除 

  • 界面活性處理 

  • 表面污染物去除




■ 產(chǎn)品圖紙

■ 設(shè)備安裝圖


產(chǎn)品展示

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